【Kaiyun·開(kāi)云，新聞】身為全球第二大經(jīng)濟(jì)體，我國(guó)通過(guò)多年的發(fā)展，在航天、高鐵等許多領(lǐng)域都處在全球領(lǐng)先的行列，但是卻在先進(jìn)芯片制造上不得不依賴歐美國(guó)家，這主要是因?yàn)槲覈?guó)在光刻機(jī)方面存在著較大短板。不過(guò)今天（2月7日）卻傳來(lái)了一個(gè)令人振奮的消息，由上海微電子生產(chǎn)的我國(guó)首臺(tái)2.5D/3D先進(jìn)封裝光刻機(jī)正式交付給用戶，這也標(biāo)志著上海微電子邁出了我國(guó)在光刻機(jī)制造領(lǐng)域的重要一步。

上海微電子所生產(chǎn)的國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)

　　在去年9月份時(shí)，上海微電子官方宣布將推出新一代大視場(chǎng)高分辨率先進(jìn)封裝光刻機(jī)。該光刻機(jī)可滿足0.8μm（800nm）分辨率光刻工藝需求，極限分辨率可達(dá)0.6μm（600nm），通過(guò)升級(jí)運(yùn)動(dòng)、量測(cè)和控制系統(tǒng)，套刻精度提升至≤100nm，并能保持長(zhǎng)期穩(wěn)定性。

　　由于美國(guó)對(duì)華為麒麟芯片的封鎖，近年來(lái)國(guó)內(nèi)芯片制造和封裝成為了國(guó)家重點(diǎn)發(fā)展的領(lǐng)域。雖然當(dāng)前我國(guó)在最頂尖的EUV光刻機(jī)的制造上仍有著不小的困難，但隨著我國(guó)科研水平的不斷提升，相關(guān)關(guān)鍵技術(shù)的突破只是時(shí)間問(wèn)題。此前，全球最大的光刻機(jī)生產(chǎn)商ASML總裁就曾擔(dān)心，一旦中國(guó)成功研發(fā)出EUV光刻機(jī)，ASML不僅僅將丟失所有中國(guó)市場(chǎng)，其在全球市場(chǎng)接近壟斷的地位也將被打破。

版權(quán)所有，未經(jīng)許可不得轉(zhuǎn)載